化學氣相沉積是工業(yè)生產(chǎn)和科研實踐中的一項重要技術，其基本原理為氣相反應物在高能量環(huán)境（熱，光，等離子）激發(fā)下產(chǎn)生化學反應而形成固體產(chǎn)物?；瘜W氣相沉積技術廣泛應用于粉體的制備和表面改性，目標產(chǎn)物為游離的固體形式得到超細粉末，目標產(chǎn)物以一定方式沉積在粉體或基體表面可以形成功能化的薄膜或涂層。無論是粉體制備還是表面涂覆，粉體顆粒本身良好的分散性及良好的氣固接觸是非常重要的因素。在眾多的粉體分散技術中，流化技術由于分散性好，可以實現(xiàn)顆粒的循環(huán)流動，被廣泛用于化工生產(chǎn)過程。而將化學氣相沉積和流化技術相結(jié)合，就產(chǎn)生了一種新型的材料制備技術。

在流化床中，顆粒在高速氣流的作用下處于流態(tài)化，而氣體反應物通過載帶的形式進入流化床，在高溫區(qū)發(fā)生化學反應，形成超細粉末或者沉積在顆粒表面。該項技術起源于核能領域，初應用于陶瓷球形核燃料核芯的包覆，后逐步擴展到碳納米管制備、多晶硅制備、催化載體及粉體改性等領域。